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气体化学热处理设备主要有井式炉、周期式多用炉和连接式贯通马弗炉。可用来进行气体渗碳、氮化、软氮化和氰化。所使用的渗剂有：甲醇、乙醇、煤油、丙酮、三乙酸胺、尿素、氨气、吸热式气氛、天然气、城市煤气等。
操作人员除必须熟悉设备的性能和安全操作规程外，还应对所采取的化学物品的性能、安全使用保管有所了解，对它们在化学热处理过程中的分解产物及对周围环境的影响也要有所了解。
气体化学热处理中的废气，都必须点燃，因为其中一般含有一氧化碳、氰氢酸、氨和不饱和烃等，点燃后即可分解。例如气体软氮化时，炉内的HCN含量为6~8mg/m3，废气点燃后，工作环境中含HCN量仅为0~0.08mg/m3，低于规定允许值0.3mg/m3。气体氮化的废气中含有一些未分解的NH3，可以将废气通入水中减少污染。
采用液体渗剂进行化学热处理时，渗剂的滴入量必须按工艺要求严格控制。在升温阶段，如果液体超规定大量滴入炉内，在升到较高温度时，液体迅速气化，炉压会很快上升。此时，应立即关闭滴定器阀门，开大放散阀，使炉压自然下降。切不可在炉压升高时忙着打开炉门，使炉内大量可燃气体骤然与空气混合，这会引起爆炸事故。严重时不断可能使炉盖、炉门飞出，损坏设备，危及操作人员的生命安全。
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